■操作性·功能 
●射頻13.56Mhz0-300W高功率機型，發(fā)生器自動(dòng)匹配，無(wú)需調節反射波，進(jìn)一步增加的操作的便捷性。 
●標準配備數字式皮拉尼傳感器，實(shí)時(shí)顯示真空度，使得控制更為精確。 
●平行平板腔體非常適合于實(shí)驗室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品，無(wú)需擔憂(yōu)因為腔體材質(zhì)的原因導致樣品受到污染。 
■安全性·保護 
●裝載有溫度、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報警燈，可實(shí)時(shí)監測和了解機器的運轉狀態(tài)。 
●裝載有過(guò)電流漏電保護開(kāi)關(guān)、自診斷回路、異常時(shí)蜂鳴器報警等安全功能。 
■產(chǎn)品優(yōu)勢 
●等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，功率大，應用范圍廣。 
●對清洗樣品，沒(méi)有任何材質(zhì)、外觀(guān)尺寸等要求。 
●等離子清洗過(guò)程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。 
●高效的特制電極，是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。 
●特制電極和托盤(pán)結構，可保證樣品可得到全面有效的清洗。