<清洗>
● 高分子材料表面的官能基付與→ 粘合性，密著(zhù)性提高。通過(guò)氧化反應，在表
面生成-OH, >C=O, -COOH等官能基（微量的水分及二氧化碳影響）；
●  電子零件，光學(xué)零件和微小部件的清洗、電鍍、涂層前處理。
● 細菌的消毒等（通過(guò)氧自由基進(jìn)行細胞膜的蝕刻或通過(guò)紫外線(xiàn)進(jìn)行消毒）。
同樣，氮氣等離子時(shí)，表面吸取氮原子生成-NH2官能基。
● 提高各種聚合物的粘結性以及提高醫科齒科材料的生物相容性等。
● 通過(guò)處理培養皿可以在其上均勻涂抹培養基等。
<表面改質(zhì)>
● 有機高分子材料的蝕刻。對于有機高分子氧氣成為蝕刻氣體，可以進(jìn)行抗蝕劑的蝕刻。
●  促進(jìn)種子發(fā)芽等實(shí)驗。